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四探针电阻率测试仪

型号:GDS/KDY-4
货号:ZH421
浏览次数:13次
注:产品图片仅供参考
简要描述:

房租测试仪(四探针电阻率测定仪)是由:主机、测试架及四探针组成;用于测量半导体材料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率,以及扩散层、外延层、ITO导电薄膜、导电橡胶是方块电阻。

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产品详情

  • 产品介绍:
    四探针电阻率测试仪是按ASTM F84硅片电阻率测量的要求,用于对硅材料电阻率的测量。
    规格参数:
    双数字表:一个数字表在测量显示硅片电阻率的同时,另一个数字表监测过程中的电流变化。
    电压量程:0-199.9mV
    基本误差:±(0.4-0.5%读数+0.1%)
    灵敏度:100μV
    输入阻抗:1000ΜΩ
    电阻率范围:10-³~1.9×10³Ω·cm
    方块电阻范围:10-² ~1.9×10^4Ω/□
    具有电压表自动复零功能,当四探针头1、4探针间未有测量电流流过时,电压表指零,1、4探针接触到硅片,测量电流渡过单晶时,电压表指示2、3探针间的电压(即电阻率)值。
    测量精度:<3%
    电流量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA五档
    采用触点电阻<5mΩ的转换开头及继电器(>10%)

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