产品介绍：
两探针电阻率测试仪是按照SEMI MF397-1106（用两探针测量电阻率的测量方法）“两探针法”的要求。适用于测量横截面尺寸是可测量的，棒的长度与横截面MAX尺寸之比不小于3：1。横断面为圆形、正方形、长方形或梯形的单晶或多晶锭。由于两探针法的测量电流是从长棒两端进出，远离电压测量探针，因此电流流过金属与半导体接触处产生的许多副效应（如珀尔帖效应、塞贝克效应、少子注入效应等）。
仪器是由电气测量、测试台及两探针头组成。仪器具有精度为0.05%的恒流源以及双数字表，在测量电阻率的同时，另一块数字表监测电流变化，仪器还配有恒流开关，仪器测量软件会配合探头在硅棒上移动测量，自动计算多点的电阻率、正反向电阻率平均值、电阻率的MAX值、电阻率MIN值，MAX百分变化，测量数据存储在数据库中，可查询测量数据或按条件查询；提供打印及导出格式供选择。
规格参数：
测量范围
硅晶体电阻率：0.005-10000Ω·cm
硅棒尺寸：长300mm、直径20mm（可按要求更改）
恒流源
输出电流：DC0.001-100mA，五档可调
量程范围：0.001-0.01mA（1-10μA）、0.01-0.1mA（10-100μA）、0.1-1.0mA、1.0-10mA、10-100mA
恒流精度：±0.05%
直流数字电压表
测量范围：0-199.99mV
灵敏度：10μV
基本误差：±（0.004%读数±0.01%）
输入阻抗：≥1000MΩ
电阻误差：≤0.3%
两探针头
探针间距：1.59±0.01mm
探针直径：Φ0.8mm
游移率：＜0.2%
探针材料：硬质合金
探针压力：3±1N/单针
供电电源：AC 220V±10%，50/60Hz
功率范围：12W
环境温度：23±2℃
相对温度：≤65%
外形尺寸：400×350×200mm
产品重量：8Kg
