产品介绍：
微波光电导载流子复合寿命测试仪（测硅片）是按照半导体设备和材料MF1535-0707及GB/T 26068的要求，采用微波反射光电导衰退测量方法，适用于厚度小于1mm的硅片、电池片少数载流子寿命的测量，具有数字显示的测量。
微波反射光电导衰退法用于测量掺杂的抛光N型或P型硅片与载流子复合过程相关的载流子寿命的测量。也可应用于测量切割、研磨、腐蚀硅片的载流子复合寿命。
规格参数：
适用范围：采用双探头，一个为固定探头，一个为可移动探头，可以切换使用，可用于测硅片、硅锭、块状样品的测量
测量范围：0.25μs-10ms
电阻率下限：≥0.5Ω·cm
测量型号：N型或P型单晶或铸造多晶
重复性：5%
测量精度：10%
微波频率：10GHz
光源脉冲：200ns
红外光源：0.904-0.905μm
工作电源：AC 220V,50Hz
功率范围：约40W
工作温度：23±2℃
相对湿度：＜65%
读数方式：可选配测试软件或数字示波器读数
测试软件：具有自动保存数据及测试点衰减波形，可进行查询历史数据和导出历史数据等操作。
