产品简介:
四，质谱计是在高真空条件下，离子源的电子轰击气体分子使其离化。
离子进入四，过滤器按不同质荷比分离，采集离子流，放大后进行数据处理，获得相应的质谱数据。
仪器可安装在使用者的高真空设备上进行残气分析，亦可配备适当的高真空系统和进样装置作为%立的分析仪器使用。
离子流采集的常规结构为法拉弟筒/通道倍增器复合式（即 FC/CEM ）。离子流放大器的输入高阻设为 10M Ω ,1G Ω , 100G Ω 三挡，采用电子倍增器方式时一般选用 1G Ω高阻或 10M Ω高阻。仪器控制与数据处理系统适用于 WindowsXP 或 Windows2000 ，仪器提供模拟谱图，棒状谱图和多达 10 个离子的多离子监测谱图。数据系统的接口界面由 80C 196 单片机（ 16 位）以及 A/D 、 D/A 等构成，RS232 串口与电脑通讯实现仪器的控制与数据处理。仪器安装方便，操作简单，，%应用与真空科学、电子、半导体工业、石油化工的催化研究等多种领域。另外，本仪器可以派生为，仪器，如，已用于计量部门作为鉴定分子漏孔的氦四，质谱计。
指标
范围：1-100u，1200u，1300u
灵敏度：1×10 -1A/Pa ( 对 N--2 ，带CEM)
分辨率： △m ＜1（10% 谷）
峰位稳定性：±0.4u/4h
扫描速度：100ms-30s/u
检 测 器：FC，FC/CEM ，或 FC/MCP
（FC-法拉弟筒，CEM通道倍增器MCP-微通道板）
，高工作压强：1×10 -2 Pa
，高烘烤温度：30 0 ℃
接口法兰：CF50，CF63
电子单元尺寸：240×150×150mm
四，探头伸入真空腔尺寸：
1-100u：φ70X180mm
1-300u：φ70X250mm
