产品介绍:
高频光电导少数载流子寿命测试仪是按照半导体设备和材料MF1535-0707及GB/T 26068的要求,采用高频光电导衰减测量方法,适用于硅、锗单晶的少数载流子寿命测量,硅单晶寿命测量ρ≥3Ω·cm。
规格参数:
寿命测试范围:5-10000μs
电阻率测量范围:ρ≥3Ω·cm,
光脉冲发生装置
重复频率:>25次/s
脉宽:≥60μs
光脉冲关断时间<1μs
红外光源波长:1.06μm(测量硅单晶),如测量锗单晶寿命需配适当波长的光源。
脉冲电源:5A-12A
高频源
频率范围:30MHz
输出功率>1W
放大器、检波器
频率响应:2Hz-3MHz
读数方式:可选配测试软件或数字示波器读数
测试软件:具有自动保存数据及测试点衰减波形,可进行查询历史数据和导出历史数据等操作。
