产品简介
实验仪是一个真空实验平台，能够很直观反映真空获得的，过程。由真空获得部分、真空镀膜机构和电控及仪表等部分组成，结构合理，运行，，，适合于对学生开展真空实验教学。在2008年第五届，高等学校物理实验教学研讨会物理仪器评比中荣获三等奖。
可开设的实验
1、真空的获得与测量；
2、蒸发法薄膜制备
主要，特点
1、设备的真空反应室、油扩散泵、真空管路部件，透明；
2、电气控制有，%护，%止误操作对操作人员和设备造成的损伤；
3、管路采用不锈钢、真空橡胶管结合，阀门为电控双向截止阀；真空室内有烘烤除气装置；
4、一机多用的功能，针对高校开展综合性、设计性和开放性实验的要求,预留有大空间的真空室，在配置一些组件后，就能方便开设其他扩展实验项目。
主要，参数
1、Ф230×255mm玻璃真空室；
2、采用机械泵、四，玻璃质油扩散泵两，真空系统，扩散泵油量125~140ml，需水冷；
3、真空度：开机60分钟后可达5×10-3Pa，，限真空度：9.6×10-4Pa；恢复真空时间＜40分钟；
4、采用一对无氧铜电，蒸发电，，电，间距70mm，可选用钨丝或钼舟作蒸发源，蒸发电流调节范围：0～150A
5、衬底可加热，衬底加热温度范围：室温～200℃；
6、工作电压：AC220V±5%，50Hz；整机功率：3kW；
7、工作环境要求：温度低于30℃，湿度≤70％；水循环用户自备。
