产品详情

• 产品介绍：
  四探针探头用于测量导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜的方块电阻；以及测量硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率，测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻。
  产品特点：
  1.具有红宝石轴套。

  2.宝石内孔与探针之间的缝隙不大于6um。

  3.采用S型悬臂式弹簧。

  4.材质为硬质合金探针。
  用途范围：
  1.测量硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率，测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻。
  2.测量导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜的方块电阻。
  规格参数：
  探针间距：1.59mm
  游移率：＜0.5%
  间距偏差：＜3%
  MAX针与导孔间隙：0.006mm
  探针材料：硬质合金
  探针合力：3-5N（测薄膜）
  注：可根据用户要求定做不同的探针，如测量其它类型的涂层及薄膜、铝箔等材料。