四探针探头用于测量导电玻璃(ITO)和其它导电薄膜的方块电阻;以及测量硅、锗单晶(棒料、晶片)电阻率,测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻。
产品特点:
1.具有红宝石轴套。
2.宝石内孔与探针之间的缝隙不大于6um。
3.采用S型悬臂式弹簧。
4.材质为硬质合金探针。用途范围:
1.测量硅、锗单晶(棒料、晶片)电阻率,测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻。
2.测量导电玻璃(ITO)和其它导电薄膜的方块电阻。
规格参数:
探针间距:1.00mm
游移率:<0.5%
间距偏差:<3%
MAX针与导孔间隙:0.006mm
探针材料:硬质合金
探针合力:5-7N(测片)
注:可根据用户要求定做不同的探针,如测量其它类型的涂层及薄膜、铝箔等材料。
