产品介绍：
方阻测定仪（四探针电阻率测定仪）是由电气测量部份（简称：主机）、测试架及四探针头组成；仪器用于测量半导体材料（硅单晶、锗单晶、硅片）是电阻率，以及扩散层、外延层、ITO导电薄膜、导电橡胶的方块电阻。
仪器具有精度为0.05%的恒流源以及双数字表，在测量电阻率的同时，另一块数字表监测电流变化，仪器还配有恒流开关；测量硅片时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正，并计算出硅片电阻率、径向电阻率的MAX百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均匀度。
规格参数：
测量范围
可测电阻率：0.0001～19000Ω·cm
可测方块电阻：0.0001～190000Ω/□
恒流源
输出电流：DC 0.001～100mA 五档可调
量程范围：0.001～0.01mA
0.01～0.10mA
0.10～1.0mA
1.0～10mA
10～100mA
恒流精度：±0.05%
直流数字电压表：
测量范围：0～199.99mV
灵敏度：10μV
基本误差：±（0.004%读数+0.01%）
测量精度：1~Ω·cm≤3%
输出电源：≥1000ΩM
供电电源：AC 220V±10%，50Hz/60Hz
功率范围：12W
环境温度：23±2℃
相对湿度：≤65%
产品重量：6kg
外形尺寸：410×395×180mm
